PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE
PLASMA MODIFICATION OF SILICON

D 2014

PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON

SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH a Mirko ČERNÁK

Základní údaje

Originální název

PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON

Název česky

Efekty plazmově-povrchových interakcí při modifikaci křemíku plazmatem za atmosférického tlaku

Autoři

SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH a Mirko ČERNÁK

Vydání

Zinnowitz, HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions, od s. 481-485, 5 s. 2014

Nakladatel

Institute of Physics at the University of Greifswald and the Leibniz Institute for Plasma Science and Technology (INP Greifswald)

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

paměťový nosič (CD, DVD, flash disk)

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

interakce; plazma; povrch; bariérový výboj; koplanární; DCSBD; křemík

Klíčová slova anglicky

interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 16. 5. 2018 16:17, Ing. Nicole Zrilić

Anotace

ORIG CZ

V originále

The aim of this work is to study the characterization of plasma-surface interaction of silicon in DCSBD plasma. The influence of the plasma, generated in ambient air on the silicon surface properties with respect to the filamentary nature of DCSBD was studied. Surface properties and chemical composition of silicon were studied by SEM and EDX, respectively. The experimental data were successfully supported by the modeling.

Česky

Cílem této práce je studium plazmově-povrchových interakcí plazmatu DCSBD s křemíkem. Studován byl vliv plazmatu generovaného ve vzduchu na povrchové vlastnosti křemíku s ohledem na filamentární povahu DCSBD výboje. Povrchové vlastnosti a chemické složení křemíku byly studovány pomocí SEM, resp. EDX. Získaná experimentální data byla úspěšně podpořena výsledky numerického modelování.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV

Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

Citovat

SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH a Mirko ČERNÁK. PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON. In HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions. Zinnowitz: Institute of Physics at the University of Greifswald and the Leibniz Institute for Plasma Science and Technology (INP Greifswald), 2014, s. 481-485.

@inproceedings{1202708,
   author = {Skácelová, Dana and Čech, Jan and Černák, Mirko},
   address = {Zinnowitz},
   booktitle = {HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions},
   keywords = {interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon},
   howpublished = {paměťový nosič},
   language = {eng},
   location = {Zinnowitz},
   note = {Nepřenášet do RIV - není na WoS ani Scopus, neodpovídá definici druhů výsledků dle M17+},
   pages = {481-485},
   publisher = {Institute of Physics at the University of Greifswald and the Leibniz Institute for Plasma Science and Technology (INP Greifswald)},
   title = {PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON},
   year = {2014}
}

TY  - JOUR
ID  - 1202708
AU  - Skácelová, Dana - Čech, Jan - Černák, Mirko
PY  - 2014
TI  - PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON
PB  - Institute of Physics at the University of Greifswald and the Leibniz Institute for Plasma Science and Technology (INP Greifswald)
CY  - Zinnowitz
N1  - Nepřenášet do RIV - není na WoS ani Scopus, neodpovídá definici druhů výsledků dle M17+
KW  - interaction
KW  - plasma
KW  - surface
KW  - barrier discharge;coplanar
KW  - DCSBD
KW  - Silicon
N2  - The aim of this work is to study the characterization of plasma-surface interaction of silicon in DCSBD plasma. The influence of the plasma, generated in ambient air on the silicon surface properties with respect to the filamentary nature of DCSBD was studied. Surface properties and chemical composition of silicon were studied by SEM and EDX, respectively. The experimental data were successfully supported by the modeling.
ER  -

SKÁCELOVÁ, Dana, Jan ČECH a Mirko ČERNÁK. PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON. In \textit{HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions}. Zinnowitz: Institute of Physics at the University of Greifswald and the Leibniz Institute for Plasma Science and Technology (INP Greifswald), 2014, s.~481-485.

Podrobný výpis o publikaci