2015
Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in a HiPIMS discharge
FEKETE, Matej, Jaroslav HNILICA a Petr VAŠINAZákladní údaje
Originální název
Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in a HiPIMS discharge
Autoři
FEKETE, Matej (703 Slovensko, domácí), Jaroslav HNILICA (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí)
Vydání
International Conference on Phenomena in Ionized Gases, 2015
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Rumunsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/15:00080967
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
HiPIMS; OES; titanium
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 7. 12. 2015 11:03, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
Anotace
V originále
Number densities of sputtered Ti atoms and ions in their ground levels were determined by developed technique based on effective branching fractions. Densities were determined for single pulse,sequence of pulses and after the end of the pulse.
Návaznosti
ED2.1.00/03.0086, projekt VaV |
| ||
GAP205/12/0407, projekt VaV |
| ||
GA15-00863S, projekt VaV |
| ||
LO1411, projekt VaV |
|