HNILICA, Jaroslav, Pavel SOUČEK, Katarína BERNÁTOVÁ a Petr VAŠINA. Reactive argon/acetylene HiPIMS discharge – time-resolved diagnostic of present species. In 6th Central European Symposium on Plasma Chemistry. ISBN 978-88-6938-045-7. 2015.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Reactive argon/acetylene HiPIMS discharge – time-resolved diagnostic of present species
Autoři HNILICA, Jaroslav (203 Česká republika, garant, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí), Katarína BERNÁTOVÁ (703 Slovensko, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, domácí).
Vydání 6th Central European Symposium on Plasma Chemistry, 2015.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Konferenční abstrakt
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Itálie
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/15:00081051
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 978-88-6938-045-7
Klíčová slova anglicky HiPIMS; acetylene; OES; titanium
Příznaky Mezinárodní význam
Změnil Změnil: doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D., učo 106259. Změněno: 7. 12. 2015 11:05.
Anotace
Temporal evolution of the selected emission line intensities – H line, atom and ion line of Ti and Ar – were measured during the 400us HiPIMS pulse for different acetylene flows. Moreover, densities of sputtered titanium atoms and ions in their ground levels were determined using spectroscopic technique based on effective branching fractions. The technique is based on fitting theoretically calculated branching fractions to experimentally measured fractions of the relative intensities of carefully selected lines of the measured species. Dependencies of intensities of selected species and Ti atom and ion densities on discharge current evolution were studied and were compared for selected acetylene flows. The studied acetylene flow (1-5 sccm) covered the composition of the deposited coatings from titanium rich coating with only a small amount of carbon to carbon rich coating with only a small amount of titanium, whereas the coating with approximately 50% of titanium and 50% of carbon shows generally the highest hardness.
Návaznosti
ED2.1.00/03.0086, projekt VaVNázev: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaVNázev: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
GA15-00863S, projekt VaVNázev: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaVNázev: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
VytisknoutZobrazeno: 29. 3. 2024 05:44