SŤAHEL, Pavel, Mirko ČERNÁK, Zdeněk NAVRÁTIL, Jaroslav JIRUŠE, Jiří FIALA a Martin HANIČINEC. Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění. 2015. Patent. Číslo: 305097. Vydavatel: Úřad průmyslového vlastnictví. Místo vydání: Praha. Název vlastníka: Masarykova univerzita, Brno, CZ TESCAN ORSAY HOLDING, a.s., Brno, Kohoutovice, CZ. Datum registrace: 30. 1. 2014. Datum přijetí: 18. 3. 2015. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
@misc{1341547, author = {Sťahel, Pavel and Černák, Mirko and Navrátil, Zdeněk and Jiruše, Jaroslav and Fiala, Jiří and Haničinec, Martin}, keywords = {Photocatalysis decontamination}, language = {cze}, title = {Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění}, year = {2015} }
TY - PAT ID - 1341547 AU - Sťahel, Pavel - Černák, Mirko - Navrátil, Zdeněk - Jiruše, Jaroslav - Fiala, Jiří - Haničinec, Martin PY - 2015 TI - Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění KW - Photocatalysis decontamination N2 - Způsob snížení nebo odstranění organické a, nebo anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, kde alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuovaného prostoru vakuového systému se opatří fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy se chladí na teplotu v intervalu od 0 do 280 K, přičemž řečená fotokatalytická vrstva je dále alespoň z části ozařována elektromagnetickým zářením, které aktivuje fotokatalytickou reakci této fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféry vakuovaného vnitřního prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminanty a snižuje jejich koncentraci a, nebo koncentraci vody ve vakuovaném vnitřním prostoru vakuového systému. Tento způsob a zařízení k jeho provádění umožňuje snížení nežádoucí organické a anorganické kontaminace vakuových systémů, a to nejen v procesu výroby, ale také umožňuje snížení kontaminace v již provozovaných systémech, jako jsou např. SEM, TEM, SEM FIB, XPS, MALDI, SIMS a další analytické a inspekční techniky. ER -
SŤAHEL, Pavel, Mirko ČERNÁK, Zdeněk NAVRÁTIL, Jaroslav JIRUŠE, Jiří FIALA a Martin HANIČINEC. \textit{Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění}. 2015. Patent. Číslo: 305097. Vydavatel: Úřad průmyslového vlastnictví. Místo vydání: Praha. Název vlastníka: Masarykova univerzita, Brno, CZ TESCAN ORSAY HOLDING, a.s., Brno, Kohoutovice, CZ. Datum registrace: 30. 1. 2014. Datum přijetí: 18. 3. 2015.
|