Measurement of coherence properties of scanning electron microscope

ŘIHÁČEK, Tomáš; Michal LENC a Ilona MÜLLEROVÁ. Measurement of coherence properties of scanning electron microscope. In International Conference on Charged Parrticle Optics /9./. 2014.

Základní údaje

Originální název

Measurement of coherence properties of scanning electron microscope

Název anglicky

Measurement of coherence properties of scanning electron microscope

Autoři

ŘIHÁČEK, Tomáš; Michal LENC a Ilona MÜLLEROVÁ

Vydání

International Conference on Charged Parrticle Optics /9./ 2014

---

Další údaje

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne