a 2017

The Study of Spoke Merging and Splitting in HiPIMS Plasma

HNILICA, Jaroslav; Peter KLEIN; Francis LOCKWOOD-ESTRIN; Petr VAŠINA; James BRADLEY et al.

Základní údaje

Originální název

The Study of Spoke Merging and Splitting in HiPIMS Plasma

Autoři

HNILICA, Jaroslav; Peter KLEIN; Francis LOCKWOOD-ESTRIN; Petr VAŠINA a James BRADLEY

Vydání

44th ICMCTF 2017, 2017

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00094889

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

HiPIMS; spokes

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 18. 8. 2017 07:53, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Anotace

V originále

In our experiments, to gain more information on the temporal and spatial behaviour of self-organized spoke structures in HiPIMS plasmas, a correlation between the broadband 2-D optical image of an individual spoke and the current it delivers to the target has been made for a wide range of magnetron operating conditions. This allows us to relate the shape of spokes seen optically to their "electrical" footprint on the target.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy