2017
Spokes occurrence in HiPIMS discharge at different magnetic field strengths
HNILICA, Jaroslav; Marta ŠLAPANSKÁ; Peter KLEIN; Matej FEKETE; Petr VAŠINA et al.Základní údaje
Originální název
Spokes occurrence in HiPIMS discharge at different magnetic field strengths
Autoři
Vydání
Sixteenth International Conference on Reactive Sputter Deposition 2017, 2017
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/17:00095242
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-261-0754-5
Klíčová slova anglicky
HiPIMS; spokes; titanium
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 7. 12. 2017 15:19, Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.
Anotace
V originále
The effect of magnetic field strength on spoke behavior was studied by high-speed camera imaging and optical emission spectroscopy (OES) in HiPIMS discharge using 3-inch titanium target. The spoke shape, number of spokes and spoke rotation velocity were observed by employed camera. The camera enabled us to record two successive images in the same pulse with time delay of 3µs between them. The time-resolved measurements of chosen Ti atom, Ti ion, Ar atom and Ar ion lines were made. The experimental conditions covered discharge current up to 350 A, pressure range of 0.15-5 Pa and magnetic fields strength of 37, 72 and 91 mT.
Návaznosti
| ED2.1.00/03.0086, projekt VaV |
| ||
| GA15-00863S, projekt VaV |
| ||
| LO1411, projekt VaV |
|