a 2017

Transition from spokes into a homogeneous plasma in HiPIMS discharge

ŠLAPANSKÁ, Marta; Ante HECIMOVIC; Wolfgang BREILMANN; Jaroslav HNILICA; Petr VAŠINA et al.

Základní údaje

Originální název

Transition from spokes into a homogeneous plasma in HiPIMS discharge

Autoři

ŠLAPANSKÁ, Marta; Ante HECIMOVIC; Wolfgang BREILMANN; Jaroslav HNILICA; Petr VAŠINA a Achim VON KEUDELL

Vydání

Sixteenth International Conference on Reactive Sputter Deposition 2017, 2017

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00095243

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-261-0754-5

Klíčová slova anglicky

HiPIMS; spokes; chromium; flat probe; optical emission spectroscopy; mass spectrometry

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 5. 1. 2018 14:11, Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.

Anotace

V originále

The transition from self-organized plasma into spokes to a homogeneous plasma was studied. In the experiment, the 51-mm-diameter chromium target was used. The transition was investigated by simple biased flat probe, mass spectrometry (MS) and optical emission spectroscopy (OES).

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy