a 2017

Feasibility study of WBC synthesis from segmented magnetron target

KROKER, Michael; Pavel SOUČEK a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Feasibility study of WBC synthesis from segmented magnetron target

Autoři

KROKER, Michael; Pavel SOUČEK a Petr VAŠINA

Vydání

8th International Conference on Innovations in Thin Film Processing and Characterization, 2017

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00095248

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISSN

Klíčová slova anglicky

WBC; coating; EDS; SEM; RBS; TRIM; SRIM; segmented target; magnetron sputtering

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 30. 8. 2018 10:36, Mgr. Michael Kroker, Ph.D.

Anotace

V originále

Advanced segmented target was used for precise controlling of the chemical composition of the deposited coating. The target was composed of W, C, B4C cylindrical segments. Both homogeneous and highly-inhomogeneous coatings were deposited on steel substrate to determine the influence of the chemical composition on the properties of the deposited coatings. W-B-C coatings were synthesized using DC and pulsed DC magnetron sputtering. Substrates and coatings were heated during deposition to the temperature of 450 °C. Different values of negative bias were applied to substrate during deposition (50 V – 400 V).

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-17875S, projekt VaV
Název: Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
Investor: Grantová agentura ČR, Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
MUNI/C/1657/2016, interní kód MU
Název: Syntéza a charakterizace tenkých vrstev s nanolaminátní mikrostrukturou
Investor: Masarykova univerzita, Syntéza a charakterizace tenkých vrstev s nanolaminátní mikrostrukturou, DO R. 2020 - Program rektora