a 2017

Impact of Sputtered Species Ionization on Hysteresis Curve Shape – Model and Experiment

FEKETE, Matej; Katarína BERNÁTOVÁ; Peter KLEIN; Jaroslav HNILICA; Petr VAŠINA et al.

Základní údaje

Originální název

Impact of Sputtered Species Ionization on Hysteresis Curve Shape – Model and Experiment

Autoři

Vydání

Sixteenth International Conference on Reactive Sputter Deposition, 2017

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00095254

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-261-0754-5

Klíčová slova anglicky

R-HiPIMS; OES; titanium

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 11. 12. 2017 10:41, Mgr. Matej Fekete, Ph.D.

Anotace

V originále

During the last decade the HiPIMS has shown great promise in the field of reactive thin film deposition. In the reactive HiPIMS (R-HiPIMS), the discharge power is delimited within short energetic pulses which, in addition to an enhanced ionization of the sputtered species, also leads to an enhanced dissociation of the reactive gas molecules resulting in an increasing gas reactivity with the surface, which is ultimately beneficial for the thin film formation.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy