p 2017

Spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma

KLEIN, Peter; Jaroslav HNILICA; Francis LOCKWOOD ESTRIN; Petr VAŠINA; James W. BRADLEY et al.

Základní údaje

Originální název

Spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma

Autoři

KLEIN, Peter; Jaroslav HNILICA; Francis LOCKWOOD ESTRIN; Petr VAŠINA a James W. BRADLEY

Vydání

PAPN 2017 „Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2017“ 2017

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Vyžádané přednášky

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/17:00095255

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

magnetrón; spoky; HiPIMS

Klíčová slova anglicky

magnetron; spokes; HiPIMS
Změněno: 11. 12. 2017 10:37, Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Anotace

V originále

The dual diagnostic system employed during the HiPIMS process enabled the observation of a set of spokes as they rotated. Fast events of the spoke merging and splitting were recorded.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GA15-00863S, projekt VaV
Název: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
LO1411, projekt VaV
Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy