OHLÍDAL, Ivan, Jiří VOHÁNKA, Jan MISTRÍK, Martin ČERMÁK a Daniel FRANTA. Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers. Surface and Interface Analysis. Wiley, roč. 50, č. 11, s. 1230-1233. ISSN 0142-2421. doi:10.1002/sia.6463. 2018.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Different theoretical approaches at optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers
Autoři OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, domácí), Jiří VOHÁNKA (203 Česká republika, domácí), Jan MISTRÍK (203 Česká republika, domácí), Martin ČERMÁK (203 Česká republika, domácí) a Daniel FRANTA (203 Česká republika, domácí).
Vydání Surface and Interface Analysis, Wiley, 2018, 0142-2421.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10306 Optics
Stát vydavatele Spojené státy
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW odkaz na stránku nakladatele
Impakt faktor Impact factor: 1.319
Kód RIV RIV/00216224:14310/18:00104690
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Doi http://dx.doi.org/10.1002/sia.6463
UT WoS 000448889600046
Klíčová slova anglicky native oxide layers;optical characterization;roughness;silicon surfaces
Změnil Změnila: Mgr. Tereza Miškechová, učo 341652. Změněno: 2. 5. 2019 16:16.
Anotace
Results of the optical characterization of randomly rough silicon surfaces covered with native oxide layers based on processing experimental data obtained by ellipsometry and reflectometry are presented. It is shown that the Rayleigh-Rice theory is suitable theoretical approach for characterizing micro-rough surfaces in contrast to effective medium approximation. Combination of the Rayleigh-Rice theory and scalar diffraction theory is efficient and reliable approach for characterizing rougher surfaces with the rms values of heights larger than 10 nm. Thickness of native oxide layers and roughness parameters, ie, the rms values of heights and autocorrelation lengths, are determined for micro-rough and rougher surfaces using the corresponding theoretical approaches.
Návaznosti
LO1411, projekt VaVNázev: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
VytisknoutZobrazeno: 28. 3. 2024 15:46