2018
Souhrnná výzkumná zpráva pro depozici magnetronem
HNILICA, Jaroslav; Peter KLEIN; Katarína BERNÁTOVÁ; Marta ŠLAPANSKÁ; Petr VAŠINA et al.Základní údaje
Originální název
Souhrnná výzkumná zpráva pro depozici magnetronem
Název česky
Souhrnná výzkumná zpráva pro depozici magnetronem
Název anglicky
Research report for magnetron deposition
Autoři
Vydání
Brno, 16 s. 2018
Nakladatel
MU
Další údaje
Jazyk
čeština
Typ výsledku
Výzkumná zpráva
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/18:00101874
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
magnetron sputtering; deposition process; QCM; HFM
Změněno: 10. 1. 2019 13:05, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
V originále
Výzkumná zpráva shrnuje výsledky prováděných v rámci projektu TAČR ZETA.
Anglicky
The research report summarizes the results of the TAČR ZETA project.
Návaznosti
| TJ01000157, projekt VaV |
|