2019
Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting
KLEIN, Peter; Jaroslav HNILICA; Francis LOCKWOOD-ESTRIN; James BRADLEY; Petr VAŠINA et al.Základní údaje
Originální název
Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting
Autoři
Vydání
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies, 2019
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Konferenční abstrakt
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Slovinsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/19:00109249
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-961-290-061-8
Klíčová slova anglicky
magnetron sputtering; HiPIMS; spokes
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 11. 5. 2020 13:17, Mgr. Marie Novosadová Šípková, DiS.
Anotace
V originále
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) is a promising physical vapour deposition (PVD) technique, utilizing short pulses (several 10 s of microseconds) to deliver the power into the discharge. It is characterized by a very high concentration of ions in the deposition flux and it does not create macro-particles, unlike the arc deposition process. HiPIMS plasma manifests a self-organization into the ionization zones called spokes, rotating above the racetrack area of the target (the race track being the area on the target with the highest erosion induced by the sputtering) in both clockwise and anticlockwise E cross B direction depending on current density.
Návaznosti
| ED2.1.00/03.0086, projekt VaV |
| ||
| GA19-00579S, projekt VaV |
| ||
| LO1411, projekt VaV |
|