KELAROVÁ, Štěpánka, Roman PŘIBYL, Vojtěch HOMOLA, Richard VÁCLAVIK, Monika STUPAVSKÁ, Lukáš KELAR a Vilma BURŠÍKOVÁ. ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS. In Czech Soc New Mat & Technol; Region Ctr Adv Technol & Mat. 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2017). Brno: TANGER Ltd, 2018, s. 842-847. ISBN 978-80-87294-81-9.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS
Název česky Environmentální stabilita tenkých vrstev hexamethyldisiloxanu s obsahem dusíku připravených pomocí plazmové polymerace
Autoři KELAROVÁ, Štěpánka (203 Česká republika, domácí), Roman PŘIBYL (203 Česká republika, domácí), Vojtěch HOMOLA (203 Česká republika, domácí), Richard VÁCLAVIK (703 Slovensko, domácí), Monika STUPAVSKÁ (703 Slovensko, domácí), Lukáš KELAR (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání Brno, 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2017), od s. 842-847, 6 s. 2018.
Nakladatel TANGER Ltd
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Forma vydání paměťový nosič (CD, DVD, flash disk)
Kód RIV RIV/00216224:14310/18:00101810
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 978-80-87294-81-9
UT WoS 000452823300140
Klíčová slova česky Plazmové polymery, plazmochemická depozice z plynné fáze, FTIR, nanoindentace
Klíčová slova anglicky Plasma polymer films; plasma enhanced chemical vapor deposition; FTIR; nanoindentation
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnila: Mgr. Tereza Miškechová, učo 341652. Změněno: 30. 4. 2019 10:27.
Anotace
Nitrogen incorporated organosilicon films were prepared by means of plasma enhanced chemical vapor deposition using capacitively coupled RF glow discharges in mixtures of hexamethyldisiloxane and nitrogen. The flow rate of nitrogen was 2-10 sccm and the flow rate of hexamethyldisiloxane was 0.3-0.4 sccm. The power supply of CCP was 50 W. The environmental stability of the deposited films was studied using confocal microscopy, spectroscopic ellipsometry and FTIR (Fourier Transform Infrared Spectroscopy). The humidity induced structure changes resulted in substantial change of mechanical properties of the studied films. The mechanical properties were studied using nanoindentation techniques.
Anotace česky
Organosilikonové tenké vrstvy s obsahem dusíku byly připraveny pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze za použití RF kapacitně vázaného doutnavého výboje ze směsi hexamethyldisiloxanu a dusíku.Průtok dusíku se pohyboval v rozmezí 2-10 sccm, průtok hexamethyldisiloxanu byl udržován v rozmezí 0,3-0,4 sccm. Výkon dodávaný do výboje byl 50 W. Stabilita vyrobených tenkých vrstev v okolním prostředí byla studována pomocí konfokální mikroskopie, elipsometrie a FTIR. Strukturální změny studovaných vrstev způsobené okolní vlhkostí měly výrazný vliv na jejich mechanické vlastnosti. Mechanické vlastnosti byly studovány pomocí nanoindentačních metod.
Návaznosti
GA15-17875S, projekt VaVNázev: Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
Investor: Grantová agentura ČR, Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
LO1411, projekt VaVNázev: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
VytisknoutZobrazeno: 14. 5. 2024 07:20