Numerical enhancements of the microwave resonant cavity method
for plasma diagnostics

J 2019

Numerical enhancements of the microwave resonant cavity method for plasma diagnostics

FALTÝNEK, Jan; Vít KUDRLE; Jakub TESAŘ; Martina VOLFOVÁ; Antonín TÁLSKÝ et al.

Základní údaje

Originální název

Numerical enhancements of the microwave resonant cavity method for plasma diagnostics

Autoři

FALTÝNEK, Jan; Vít KUDRLE; Jakub TESAŘ; Martina VOLFOVÁ a Antonín TÁLSKÝ

Vydání

PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, BRISTOL, IOP PUBLISHING LTD, 2019, 0963-0252

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 3.193

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/19:00107766

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

numerical model; resonator; microwave; plasma diagnostics; plasma density; discharge profile; mode stability

Štítky

rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 25. 3. 2020 19:44, Mgr. Marie Novosadová Šípková, DiS.

Anotace

V originále

Microwave resonator method is a well established and sensitive technique of plasma density measurements, especially in low pressure plasmas. The traditional Slater approximation of very small electromagnetic field perturbation is extended and corrected by a more accurate, yet relatively simple numerical model, also addressing further phenomena such as the resonator eigenmodes and the stability of the dominant mode. The presence of a discharge tube is found to be a main source of deviation from the Slater approximation. The pre-calculated numerical correction factors are directly applicable for a range of cavity and discharge tube geometries.

Návaznosti

GA18-08520S, projekt VaV

Název: Studium procesu nukleace dvourozměrných uhlíkových nanostruktur v mikrovlnném plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Studium procesu nukleace dvourozměrných uhlíkových nanostruktur v mikrovlnném plazmatu

LO1411, projekt VaV

Název: Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy (Akronym: CEPLANT plus)

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

Citovat

FALTÝNEK, Jan; Vít KUDRLE; Jakub TESAŘ; Martina VOLFOVÁ a Antonín TÁLSKÝ. Numerical enhancements of the microwave resonant cavity method for plasma diagnostics. PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY. BRISTOL: IOP PUBLISHING LTD, 2019, roč. 28, č. 10, s. 1-11. ISSN 0963-0252. Dostupné z: https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab4300.

@article{1577038,
   author = {Faltýnek, Jan and Kudrle, Vít and Tesař, Jakub and Volfová, Martina and Tálský, Antonín},
   article_location = {BRISTOL},
   article_number = {10},
   doi = {https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab4300},
   keywords = {numerical model; resonator; microwave; plasma diagnostics; plasma density; discharge profile; mode stability},
   language = {eng},
   issn = {0963-0252},
   journal = {PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY},
   title = {Numerical enhancements of the microwave resonant cavity method for plasma diagnostics},
   url = {https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ab4300/meta},
   volume = {28},
   year = {2019}
}

TY  - JOUR
ID  - 1577038
AU  - Faltýnek, Jan - Kudrle, Vít - Tesař, Jakub - Volfová, Martina - Tálský, Antonín
PY  - 2019
TI  - Numerical enhancements of the microwave resonant cavity method for plasma diagnostics
JF  - PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
VL  - 28
IS  - 10
SP  - 1-11
EP  - 1-11
PB  - IOP PUBLISHING LTD
SN  - 09630252
KW  - numerical model
KW  - resonator
KW  - microwave
KW  - plasma diagnostics
KW  - plasma density
KW  - discharge profile
KW  - mode stability
UR  - https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ab4300/meta
L2  - https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ab4300/meta
N2  - Microwave resonator method is a well established and sensitive technique of plasma density measurements, especially in low pressure plasmas. The traditional Slater approximation of very small electromagnetic field perturbation is extended and corrected by a more accurate, yet relatively simple numerical model, also addressing further phenomena such as the resonator eigenmodes and the stability of the dominant mode. The presence of a discharge tube is found to be a main source of deviation from the Slater approximation. The pre-calculated numerical correction factors are directly applicable for a range of cavity and discharge tube geometries.
ER  -

FALTÝNEK, Jan; Vít KUDRLE; Jakub TESAŘ; Martina VOLFOVÁ a Antonín TÁLSKÝ. Numerical enhancements of the microwave resonant cavity method for plasma diagnostics. \textit{PLASMA SOURCES SCIENCE \&{}amp; TECHNOLOGY}. BRISTOL: IOP PUBLISHING LTD, 2019, roč.~28, č.~10, s.~1-11. ISSN~0963-0252. Dostupné z: https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab4300.

Přehled o publikaci