Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl
acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge

D 2021

Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge

KELAROVÁ, Štěpánka; Monika STUPAVSKÁ; Roman PŘIBYL a Vilma BURŠÍKOVÁ

Základní údaje

Originální název

Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge

Autoři

KELAROVÁ, Štěpánka; Monika STUPAVSKÁ; Roman PŘIBYL a Vilma BURŠÍKOVÁ

Vydání

Ostrava, NANOCON 2020: 12th International Conference on Nanomaterials - Research & Application, od s. 535-540, 6 s. 2021

Nakladatel

TANGER Ltd.

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

20506 Coating and films

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

elektronická verze "online"

Odkazy

URL

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/21:00119101

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-87294-98-7

ISSN

Klíčová slova anglicky

Trimethylsilyl acetate; PECVD; XPS; microindentation; confocal microscopy

Štítky

14312030, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 26. 7. 2021 12:04, Mgr. Marie Novosadová Šípková, DiS.

Anotace

V originále

Thin solid films based on organosilicon monomers are perspective in many branches of industry as well as for bioapplications. In the present study, plasma of RF capacitively coupled glow discharge in gaseous mixture of trimethylsilyl acetate (TMSA) monomer and methane was used to create SiOxCyHz coatings. This study monitors properties of resulting thin films (surface chemistry, wettability, surface structure and mechanical properties) in dependency on deposition parameters. The main subject of the presented research is the investigation of the relationship between the above-mentioned properties of prepared organosilicon coatings and the flow rate ratio of TMSA monomer and CH4 carrier gas applied during deposition process.

Návaznosti

GA19-15240S, projekt VaV

Název: Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu

LM2018097, projekt VaV

Název: Centrum výzkumu a vývoje plazmatu a nanotechnologických povrchových úprav (Akronym: CEPLANT)

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications

Citovat

KELAROVÁ, Štěpánka; Monika STUPAVSKÁ; Roman PŘIBYL a Vilma BURŠÍKOVÁ. Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge. Online. In NANOCON 2020: 12th International Conference on Nanomaterials - Research & Application. Ostrava: TANGER Ltd., 2021, s. 535-540. ISBN 978-80-87294-98-7. Dostupné z: https://doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773.

@inproceedings{1783815,
   author = {Kelarová, Štěpánka and Stupavská, Monika and Přibyl, Roman and Buršíková, Vilma},
   address = {Ostrava},
   booktitle = {NANOCON 2020: 12th International Conference on Nanomaterials - Research & Application},
   doi = {https://doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773},
   keywords = {Trimethylsilyl acetate; PECVD; XPS; microindentation; confocal microscopy},
   howpublished = {elektronická verze "online"},
   language = {eng},
   location = {Ostrava},
   isbn = {978-80-87294-98-7},
   pages = {535-540},
   publisher = {TANGER Ltd.},
   title = {Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge},
   url = {https://doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773},
   year = {2021}
}

TY  - CONF
ID  - 1783815
AU  - Kelarová, Štěpánka - Stupavská, Monika - Přibyl, Roman - Buršíková, Vilma
PY  - 2021
TI  - Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge
PB  - TANGER Ltd.
CY  - Ostrava
SN  - 9788087294987
KW  - Trimethylsilyl acetate
KW  - PECVD
KW  - XPS
KW  - microindentation
KW  - confocal microscopy
UR  - https://doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773
N2  - Thin solid films based on organosilicon monomers are perspective in many branches of industry as well as for bioapplications. In the present study, plasma of RF capacitively coupled glow discharge in gaseous mixture of trimethylsilyl acetate (TMSA) monomer and methane was used to create SiOxCyHz coatings. This study monitors properties of resulting thin films (surface chemistry, wettability, surface structure and mechanical properties) in dependency on deposition parameters. The main subject of the presented research is the investigation of the relationship between the above-mentioned properties of prepared organosilicon coatings and the flow rate ratio of TMSA monomer and CH4 carrier gas applied during deposition process.
ER  -

KELAROVÁ, Štěpánka; Monika STUPAVSKÁ; Roman PŘIBYL a Vilma BURŠÍKOVÁ. Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge. Online. In \textit{NANOCON 2020: 12th International Conference on Nanomaterials - Research \&{} Application}. Ostrava: TANGER Ltd., 2021, s.~535-540. ISBN~978-80-87294-98-7. Dostupné z: https://doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773.

Přehled o publikaci