Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere

KLEIN, Peter; Jaroslav HNILICA; Matej FEKETE; Marta ŠLAPANSKÁ a Petr VAŠINA. Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere. In 5th German-Czech Workshop on Nanomaterials. 2021.

Základní údaje

Originální název

Investigation of spokes in reactive HiPIMS using Ar/N2 atmosphere

Autoři

KLEIN, Peter; Jaroslav HNILICA; Matej FEKETE; Marta ŠLAPANSKÁ a Petr VAŠINA

Vydání

5th German-Czech Workshop on Nanomaterials, 2021

---

Další údaje

Typ výsledku

Prezentace na konferencích

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Klíčová slova anglicky

Spokes, magnetron, HiPIMS

Příznaky

Mezinárodní význam

---

Návaznosti

GA19-00579S, projekt VaV

Název: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev