k 2021

Investigation of spokes in reactive Ar/N2 atmosphere

KLEIN, Peter; Jaroslav HNILICA; Matej FEKETE; Marta ŠLAPANSKÁ; Petr VAŠINA et al.

Základní údaje

Originální název

Investigation of spokes in reactive Ar/N2 atmosphere

Autoři

Vydání

HiPIMS 2021, 2021

Další údaje

Typ výsledku

Prezentace na konferencích

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Klíčová slova anglicky

Spokes, magnetron, HiPIMS
Změněno: 19. 1. 2022 16:37, Mgr. Peter Klein, Ph.D.