Langmuir probe without RF compensation

DVOŘÁK, Pavel, Juraj PÁLENIK, Maroš TKÁČIK a Zdeněk POSPÍŠIL. Langmuir probe without RF compensation. Plasma Sources Science and Technology. IOP Publishing Ltd, 2022, roč. 31, č. 8, s. 1-5. ISSN 0963-0252. Dostupné z: https://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac83eb.

Základní údaje

• Originální název: Langmuir probe without RF compensation
• Autoři: DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant, domácí), Juraj PÁLENIK (703 Slovensko, domácí), Maroš TKÁČIK (703 Slovensko, domácí) a Zdeněk POSPÍŠIL (203 Česká republika, domácí).
• Vydání: Plasma Sources Science and Technology, IOP Publishing Ltd, 2022, 0963-0252.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Velká Británie a Severní Irsko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Impakt faktor: Impact factor: 3.800
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/22:00126312
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Doi: http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac83eb
• UT WoS: 000841586300001
• Klíčová slova česky: plazma; Langmuirova sonda; nekompenzovaná sonda; potenciál plazmatu; CCP
• Klíčová slova anglicky: plasma; Langmuir probe; uncompensated probe; plasma potential; CCP
• Štítky: rivok
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

Langmuir probes with RF compensation are used for measurements of electron concentration, electron temperature and the DC value of plasma potential in RF discharges. In order to obtain all the RF components of plasma potential, simple probes without RF compensation are used. However, it has been believed that these uncompensated probes can not be used for determination of the DC value of plasma potential and of electron concentration and temperature, since their VA characteristics is distorted by the RF current. Consequently, the evaluation of data measured with uncompensated probes was not possible without additional measurement with a RF compensated Langmuir probe. This contribution analyzes the possibility to use uncompensated probes not only for measurement of RF components of plasma potential, but also for measurement of the DC component of plasma potential, electron concentration and electron temperature.

Návaznosti

• GA19-15240S, projekt VaV: Název: Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu

• 90097, velká výzkumná infrastruktura: Název: CEPLANT