J 1993

Influence of defects of thin films on determining their thickness by the method based on white light interference

MUSILOVÁ, Jana a Ivan OHLÍDAL

Základní údaje

Originální název

Influence of defects of thin films on determining their thickness by the method based on white light interference

Název česky

Vliv defektů v tenkých vrstvách na určení jejich tloušťky metodou interference bílého světla

Autoři

Vydání

J. Phys. D: Appl. Phys. 1993, 0022-3727

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

Klíčová slova česky

tenké vrstvy

Klíčová slova anglicky

thin films

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 23. 6. 2009 22:26, prof. RNDr. Jana Musilová, CSc.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Method of determining the thickness of a thin film by white light interference. Influence of defects.

Česky

Metoda určení tloušťky tenké vrstvy pomocí interference bílého svqtla. Vliv defektů.