J 1995

Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2

JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL, Zdeněk BOCHNÍČEK a V. PEŘINA

Základní údaje

Originální název

Depozice a charakterizace organosilikonových tenkých vrstev ze směsi TEOS+O2

Autoři

JANČA, Jan, Karel NAVRÁTIL, Zdeněk BOCHNÍČEK a V. PEŘINA

Vydání

Czechoslovak Journal of Physics, Praha, Academia, 1995, 0011-4626

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/95:00000354

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta
Změněno: 22. 3. 2000 16:28, prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek