ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Michaela KRZYŽÁNKOVÁ a Jan JANČA. Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures. In Proceedings of 17th Symposium on Plasma Physics and Technology. Prague (Czech Rep.): ČVUT Praha, 1995, s. 293-295. ISBN 80-010-1344-8.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures
Autoři ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Michaela KRZYŽÁNKOVÁ a Jan JANČA (203 Česká republika).
Vydání Prague (Czech Rep.), Proceedings of 17th Symposium on Plasma Physics and Technology, s. 293-295, 1995.
Nakladatel ČVUT Praha
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/95:00000360
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 80-010-1344-8
Příznaky Mezinárodní význam
Změnil Změnila: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414. Změněno: 17. 7. 2007 17:05.
Anotace
Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures
Návaznosti
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 27. 7. 2024 14:45