D 1995

Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures

ZAJÍČKOVÁ, Lenka; Michaela KRZYŽÁNKOVÁ a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures

Autoři

ZAJÍČKOVÁ, Lenka; Michaela KRZYŽÁNKOVÁ a Jan JANČA

Vydání

Prague (Czech Rep.), Proceedings of 17th Symposium on Plasma Physics and Technology, s. 293-295, 1995

Nakladatel

ČVUT Praha

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/95:00000360

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-010-1344-8

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 17. 7. 2007 17:05, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek