Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces Covered by Layers

OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA a Jaroslav HORA. Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces Covered by Layers. In ECASIA 95 - 6th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis. Chichester, England, UK: John Willey & Sons, 1996, s. 823-826. ISBN 0-471-95899-9.

Základní údaje

Originální název

Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces Covered by Layers

Autoři

OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA a Jaroslav HORA

Vydání

Chichester, England, UK, ECASIA 95 - 6th European Conference on Applications of Surface and Interface Analysis, od s. 823-826, 4 s. 1996

Nakladatel

John Willey & Sons

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10301 Atomic, molecular and chemical physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

0-471-95899-9

---

Anotace

V originále

In this paper it will be shown that formulae for the ellipsometric parameters derived using the Rayleigh-Rice theory (RRT) can be used to determine the root-mean-square (rms) values of the heights sigma and the values of the autocorrelation lenghts T.