OHLÍDAL, Ivan a Daniel FRANTA. Ellipsometry of thin films. Acta Physica Slovaca. Bratislava: Institute of Physics, SAS, 1998, roč. 48, č. 4, s. 459-468. ISSN 0323-0465.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Ellipsometry of thin films
Autoři OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant) a Daniel FRANTA (203 Česká republika).
Vydání Acta Physica Slovaca, Bratislava, Institute of Physics, SAS, 1998, 0323-0465.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Slovensko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Kód RIV RIV/00216224:14310/98:00002060
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000075856700006
Změnil Změnil: Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000. Změněno: 19. 12. 2003 19:36.
Anotace
In this paper a brief review of ellipsometric methods is presented for analyzing thin films. Examples of using these methods will be introduced as well. By means of results obtained using the ellipsometric methods introduced their practical meaning will be illustrated. It will be shown that the ellipsometric method can be tilized for analyzing single layers and multilayer systems in it successful way.
Návaznosti
GA202/98/0988, projekt VaVNázev: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
VS96084, projekt VaVNázev: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
VytisknoutZobrazeno: 29. 8. 2024 16:11