1999
X-ray reflection by rough multilayer gratings: Dynamical and kinematical scattering
MIKULÍK, Petr a T. BAUMBACHZákladní údaje
Originální název
X-ray reflection by rough multilayer gratings: Dynamical and kinematical scattering
Název česky
Rtg reflexe na drsných vrstevnatých mřížkách: Dynamický a kinematický rozptyl
Autoři
MIKULÍK, Petr (203 Česká republika, garant) a T. BAUMBACH (276 Německo)
Vydání
Phys. Rev. B, USA, The American Phys. Society, 1999, 0163-1829
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 3.008
Kód RIV
RIV/00216224:14310/99:00001001
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000079507700063
Klíčová slova česky
rtg reflexe; multivrstvy; mřížky
Klíčová slova anglicky
x-ray reflectivity; multilayers; roughness; gratings
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 15. 1. 2010 15:08, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
V originále
X-ray reflectivity by rough multilayer gratings is treated in the framework of the kinematical and dynamical theories. The kinematical scattering integral is calculated without the restrictions of the Fraunhofer approximation. The dynamical theory is presented by the matrix modal eigenvalue approach. In both theories we generalize the Fresnel reflection and transmission coefficients for the case of grating diffraction. We obtained one unique formalism which permits us to compare directly the results of both theories. Furthermore, interface and side wall roughnesses are taken into account. The dynamical approach allowed to explain the experimental results obtained from a partially etched GaAs/InP periodic multilayer grating.
Česky
Rtg reflektivita na drsných vrstevnatých mřížkách analyzován v rámci kinematické a dynamické teorie rozptylu. Kinematický rozptyl je spočítán bez omezeními danými Fraunhoferovou approximací. Dynamická teorie je prezentována maticovým modálním přístupem vlastních hodnot. V rámci obou teorií jsme zobecnili Fresnelovy vztahy pro reflexní a transmisní koeficienty pro případ difrakce na mřížkách. Získali jsme jednotný formalismus, který umožnil přímé porovnání výsledků obou teorií. Dynamickou teorií jsme vysvětlili experimentální výsledky naměřené na částečně leptané GaAs/InP mřížce.
Návaznosti
| MSM 143100002, záměr |
|