Characterization of Hydrogenated Carbon Nitride Films Prepared by the PECVD

ELIÁŠ, Marek, Josef ŠŮSTEK a Jan JANČA. Characterization of Hydrogenated Carbon Nitride Films Prepared by the PECVD. In ICPP. 1. vyd. Praha: Ústav fyziky plazmatu ČAV, Praha, 1998, s. 919-920.

Základní údaje

Originální název

Characterization of Hydrogenated Carbon Nitride Films Prepared by the PECVD

Autoři

ELIÁŠ, Marek, Josef ŠŮSTEK a Jan JANČA

Vydání

1. vyd. Praha, ICPP, s. 919-920, 1998

Nakladatel

Ústav fyziky plazmatu ČAV, Praha

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

carbon nitride films; PECVD

Štítky

carbon nitride films, PECVD