D 1998

Influence of Substrate Emisivity on Plasma Enhanced CVD

ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Influence of Substrate Emisivity on Plasma Enhanced CVD

Autoři

ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Česká republika, garant), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Dublin, Ireland, ESCAMPIG 98, s. 528-529, 1998

Nakladatel

University of Dublin, Ireland

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

plasma enhanced CVD

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 17. 7. 2007 17:23, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

Influence of Substrate Emisivity on Plasma Enhanced CVD