D 1998

Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness

OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA; Miloslav OHLÍDAL; Martin VIČAR; Petr KLAPETEK et al.

Základní údaje

Originální název

Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness

Autoři

OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA; Miloslav OHLÍDAL; Martin VIČAR a Petr KLAPETEK

Vydání

Braunschweig, SRN, Proceedings of the 3th Seminar on Quantitative Microscopy, s. 123-129, 1998

Nakladatel

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/98:00002080

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

3-89701-280-4
Změněno: 19. 12. 2003 19:29, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

V originále

In this contribution a comparison of the values of basic quantities characterizing random nanometric surface roughness determined by AFM and optical methods is presented.

Návaznosti

GA101/98/0772, projekt VaV
Název: Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
GA202/98/0988, projekt VaV
Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
VS96084, projekt VaV
Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze