Comparison of optical and non-optical methods for measuring
surface roughness

D 1999

Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness

OHLÍDAL, Ivan; Miloslav OHLÍDAL; Daniel FRANTA a Miroslav TYKAL

Základní údaje

Originální název

Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness

Autoři

OHLÍDAL, Ivan; Miloslav OHLÍDAL; Daniel FRANTA a Miroslav TYKAL

Vydání

Bellingham, Washington, USA, Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics, s. 456-467, 1999

Nakladatel

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/99:00002100

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

0-8194-3306-3

UT WoS

000082158500060

Klíčová slova anglicky

Coherent optics; Surface roughness; Metrology

Štítky

Coherent optics, Metrology, Surface roughness

Změněno: 21. 12. 2003 23:20, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

V originále

The values of the basic characteristics of surface roughness measured by means of optical and non-optical methods often differ mutually. So far a systematic comparison of the results obtained by those methods has not been done. The results we have achieved comparing optical and non-optical methods of the surface roughness measurement for selected samples of rough surfaces and for selected methods are presented.

Návaznosti

GA202/98/0988, projekt VaV

Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

VS96084, projekt VaV

Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze

Citovat

OHLÍDAL, Ivan; Miloslav OHLÍDAL; Daniel FRANTA a Miroslav TYKAL. Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness. In Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics. Bellingham, Washington, USA: SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1999, s. 456-467. ISBN 0-8194-3306-3.

@inproceedings{207571,
   author = {Ohlídal, Ivan and Ohlídal, Miloslav and Franta, Daniel and Tykal, Miroslav},
   address = {Bellingham, Washington, USA},
   booktitle = {Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics},
   keywords = {Coherent optics; Surface roughness; Metrology},
   language = {eng},
   location = {Bellingham, Washington, USA},
   isbn = {0-8194-3306-3},
   pages = {456-467},
   publisher = {SPIE - The International Society for Optical Engineering},
   title = {Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness},
   url = {http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE3820_456.html},
   year = {1999}
}

TY  - CONF
ID  - 207571
AU  - Ohlídal, Ivan - Ohlídal, Miloslav - Franta, Daniel - Tykal, Miroslav
PY  - 1999
TI  - Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness
PB  - SPIE - The International Society for Optical Engineering
CY  - Bellingham, Washington, USA
SN  - 0819433063
KW  - Coherent optics
KW  - Surface roughness
KW  - Metrology
UR  - http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE3820_456.html
N2  - The values of the basic characteristics of surface roughness measured by means of optical and non-optical methods often differ mutually. So far a systematic comparison of the results obtained by those methods has not been done. The results we have achieved comparing optical and non-optical methods of the surface roughness measurement for selected samples of rough surfaces and for selected methods are presented.
ER  -

OHLÍDAL, Ivan; Miloslav OHLÍDAL; Daniel FRANTA a Miroslav TYKAL. Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness. In \textit{Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics}. Bellingham, Washington, USA: SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1999, s.~456-467. ISBN~0-8194-3306-3.

Přehled o publikaci