J 1999

Úplná optická charakterizace neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev pomocí víceúhlové elipsometrie

OHLÍDAL, Ivan

Základní údaje

Originální název

Úplná optická charakterizace neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev pomocí víceúhlové elipsometrie

Název anglicky

Complete optical characterisation of nonabsorbing double layers and triple layers using multiple angle of incidence ellipsometry

Autoři

Vydání

Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 1999, 0447-6441

Další údaje

Jazyk

čeština

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/99:00003230

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta
Změněno: 27. 2. 2001 16:37, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.

Anotace

V originále

V této práci je popsána elipsometrická metoda umožňující určit hodnoty všech optických parametrů, tj. hodnoty indexů lomu a tlouštěk, neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev umístěných na absorbujících podložkách.

Anglicky

In this paper the ellipsometric method enabling us to determine the values of all the optical parameters, ie. the values of the refractive indices and thicknesses, of non-absorbing double layers and triple layers placed onto absorbing substrate is described.

Návaznosti

GA202/98/0988, projekt VaV
Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod