Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in
a capacitively coupled plasma

p 2022

Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma

DVOŘÁK, Pavel; Radek ŽEMLIČKA; Roman PŘIBYL; Maroš TKÁČIK; Juraj PÁLENIK et al.

Základní údaje

Originální název

Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma

Název česky

Vyšší harmonické frekvence výbojového napětí a proudu v kapacitně vázaném plazmatu

Autoři

DVOŘÁK, Pavel; Radek ŽEMLIČKA; Roman PŘIBYL; Maroš TKÁČIK; Juraj PÁLENIK; Petr VAŠINA; Petr SKOPAL; Zdeněk NAVRÁTIL a Vilma BURŠÍKOVÁ

Vydání

31st SPIG (Summer school and International Symposium on the Physics of Ionized Gases), 2022

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Vyžádané přednášky

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/22:00135043

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova česky

vyšší harmonické frekvence;plazma;kapacitně vázané výboje

Klíčová slova anglicky

higher harmonic frequencies;plasma;capacitively coupled discharges

Příznaky

Mezinárodní význam

Změněno: 15. 7. 2024 10:42, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

The current-voltage characteristics of capacitively coupled discharges has nonlinear character, which is caused by sheaths and which leads to generation of higher harmonic frequencies of discharge current and voltage. Higher harmonics are strong especially at low pressure. Higher harmonics influence the behaviour of the plasma and, at the same time, they sensitively react on number of discharge parameters, which enables to use them for monitoring of various deposition and etching processes. The presentation summarizes several topics related to higher harmonic frequencies, namely the problematics of probe measurement of the high-frequency components of plasma potential, modeling of generation of higher harmonics and analysis why higher harmonics react so sensitively on the presence of a thin film during deposition/etching processes.

Česky

Zvaná přednáška shrnula několik let výzkumu vyšších harmonických frekvencí, které jsou spontánně generované v kapacitně vázaném plazmatu díky nelinearitě elektrických vlastností plazmatu. Přednáška shrnula vznik vyšších harmonických frekvencí, způsob jejich měření a problematiku Langmuirovy sondy bez vf. kompenzace, výpočet vyšších harmonických měření a jejich chování v řadě případů a na závěr důvod reakce vyšších harmonik na vznik nebo odleptání tenké vrstvy v plazmatických procesech.

Návaznosti

GA19-15240S, projekt VaV

Název: Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu

Investor: Grantová agentura ČR, Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu

90097, velká výzkumná infrastruktura

Název: CEPLANT

Citovat

DVOŘÁK, Pavel; Radek ŽEMLIČKA; Roman PŘIBYL; Maroš TKÁČIK; Juraj PÁLENIK; Petr VAŠINA; Petr SKOPAL; Zdeněk NAVRÁTIL a Vilma BURŠÍKOVÁ. Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma. In 31st SPIG (Summer school and International Symposium on the Physics of Ionized Gases). 2022.

@misc{2217417,
   author = {Dvořák, Pavel and Žemlička, Radek and Přibyl, Roman and Tkáčik, Maroš and Pálenik, Juraj and Vašina, Petr and Skopal, Petr and Navrátil, Zdeněk and Buršíková, Vilma},
   booktitle = {31st SPIG (Summer school and International Symposium on the Physics of Ionized Gases)},
   keywords = {higher harmonic frequencies;plasma;capacitively coupled discharges},
   language = {eng},
   note = {Součástí publikace je také krátký abstrakt v konferenčním sborníku: Publ. Astron. Obs. Belgrade 102 (2022), 160. Poděkování patří i VVI LM2018097.},
   title = {Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma},
   url = {https://publications.aob.rs/102/pdf/spig2022-23-8.pdf},
   year = {2022}
}

TY  - SLIDE
ID  - 2217417
AU  - Dvořák, Pavel - Žemlička, Radek - Přibyl, Roman - Tkáčik, Maroš - Pálenik, Juraj - Vašina, Petr - Skopal, Petr - Navrátil, Zdeněk - Buršíková, Vilma
PY  - 2022
TI  - Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma
N1  - Součástí publikace je také krátký abstrakt v konferenčním sborníku: Publ. Astron. Obs. Belgrade 102 (2022), 160. Poděkování patří i VVI LM2018097.
KW  - higher harmonic frequencies;plasma;capacitively coupled discharges
UR  - https://publications.aob.rs/102/pdf/spig2022-23-8.pdf
N2  - The current-voltage characteristics of capacitively coupled discharges has nonlinear character, which is caused by sheaths and which leads to generation of higher harmonic frequencies of discharge current and voltage. Higher harmonics are strong especially at low pressure. Higher harmonics influence the behaviour of the plasma and, at the same time, they sensitively react on number of discharge parameters, which enables to use them for monitoring of various deposition and etching processes. The presentation summarizes several topics related to higher harmonic frequencies, namely the problematics of probe measurement of the high-frequency components of plasma potential, modeling of generation of higher harmonics and analysis why higher harmonics react so sensitively on the presence of a thin film during deposition/etching processes.
ER  -

DVOŘÁK, Pavel; Radek ŽEMLIČKA; Roman PŘIBYL; Maroš TKÁČIK; Juraj PÁLENIK; Petr VAŠINA; Petr SKOPAL; Zdeněk NAVRÁTIL a Vilma BURŠÍKOVÁ. Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma. In \textit{31st SPIG (Summer school and International Symposium on the Physics of Ionized Gases)}. 2022.

Přehled o publikaci