2022
The wide range optical spectrum characterization of the silicon and oxygen doped diamond like carbon inhomogeneous thin films
ČERMÁK, Martin, Štěpánka KELAROVÁ, Jana JURMANOVÁ, Pavlína KÜHROVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ et. al.Základní údaje
Originální název
The wide range optical spectrum characterization of the silicon and oxygen doped diamond like carbon inhomogeneous thin films
Autoři
ČERMÁK, Martin (203 Česká republika, garant, domácí), Štěpánka KELAROVÁ (203 Česká republika, domácí), Jana JURMANOVÁ (203 Česká republika, domácí), Pavlína KÜHROVÁ (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí)
Vydání
Diamond and Related Materials, Elsevier Ltd, 2022, 0925-9635
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
20506 Coating and films
Stát vydavatele
Švýcarsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 4.100
Kód RIV
RIV/00216224:14310/22:00126854
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000838984700007
Klíčová slova anglicky
Ellipsometry; Spectrophotometry; Diamond like carbon; Inhomogeneous thin film; Scanning electron microscope
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 2. 2024 13:22, Mgr. Marie Šípková, DiS.
Anotace
V originále
Optical characterization from the FIR to the V-UV region of silicon and oxygen doped carbon films deposited on a silicon substrates is performed. In this work, the deposited films are considered as optically inhomogeneous, i.e., the optical constants depend on the depth in the films. According to the optical analysis, there is a transition layers under the deposited films with optical constants similar to amorphous silicon with hydrogen, carbon and oxygen additions. The film thicknesses obtained from optical characterization are compared with those obtained from scanning electron microscope images. From electron microscope images it is evident that the film properties are truly depth-dependent. The optical constants of the films and transition layers as functions of photon energy over the studied spectrum are determined. The static conductivity of the films is determined from measurements in FIR region. From spectral analysis in the mid-infrared region, resonance peaks were detected and the chemical composition of the film and transition layers is presented. The chemical composition is compared with the results of the EDX.
Návaznosti
GA19-15240S, projekt VaV |
| ||
90097, velká výzkumná infrastruktura |
|