Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.

PEKAŘ, Václav; Jaromír BŘEZINA; David ŠKODA; Ivan OHLÍDAL; Jiří VOHÁNKA; Daniel FRANTA; Pavel FRANTA; Miloslav OHLÍDAL; Václav ŠULC; Petr KLAPETEK a Marek HAVLÍČEK. Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm. 2020.

Základní údaje

Originální název

Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.

Název anglicky

Antireflection coating on the substrate in specification: T>=99,8 % at 248 nm and T>=98,5 % at 213 nm.

Autoři

PEKAŘ, Václav; Jaromír BŘEZINA; David ŠKODA; Ivan OHLÍDAL; Jiří VOHÁNKA; Daniel FRANTA; Pavel FRANTA; Miloslav OHLÍDAL; Václav ŠULC; Petr KLAPETEK a Marek HAVLÍČEK

Vydání

2020

---

Další údaje

Typ výsledku

Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

DUV Coating, high transmission, Al2O3, SiO2

---

Anotace

V originále

Antireflexní vrstvy vyrobené kombinací vysokoindexového materiálu Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2 splňující následující specifikace v hluboké ultrafialové oblasti, vrstva 1: T>=99,8 % @248 nm, vrstva 2: T>=98,5 % @213 nm

Anglicky

Antireflection coating layers fabricated in combination of high index Al2O3 and low index SiO2 materials with following specification in deep ultraviolet region, design 1: T>=99,8 % at 248 nm and design 2: T>=98,5 % at 213 nm

---

Návaznosti

FV40328, projekt VaV

Název: Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra Investor: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra