Novel Sputter Cathode Design to Obtain Very High Ionized Flux Fraction of Deposited Material in Industrial Conditions

UČÍK, Martin; Jaroslav HNILICA; Peter KLEIN; Petr VAŠINA; Jan KLUSOŇ; Mojmír JÍLEK; Martin ONDRYÁŠ a A LÜMKEMANN. Novel Sputter Cathode Design to Obtain Very High Ionized Flux Fraction of Deposited Material in Industrial Conditions. In HIPIMS 2023. 2023.

Základní údaje

Originální název

Novel Sputter Cathode Design to Obtain Very High Ionized Flux Fraction of Deposited Material in Industrial Conditions

Autoři

UČÍK, Martin; Jaroslav HNILICA; Peter KLEIN; Petr VAŠINA; Jan KLUSOŇ; Mojmír JÍLEK; Martin ONDRYÁŠ ORCID a A LÜMKEMANN

Vydání

HIPIMS 2023, 2023

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

magnetron; sputtering; ionmeter; industrial

Příznaky

Mezinárodní význam