FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs

BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA a Pavel FRANTA. FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs. 2023.

Základní údaje

Originální název

FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs

Název anglicky

FV0343AR – optical element with AR coating for λ = 343nm, R < 0.2%, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 for 900fs pulses

Autoři

BŘEZINA, Jaromír, Václav PEKAŘ, David ŠKODA, Jan VANDA, Mihai-George MURESAN, Priyadarshani NARAYANASAMY, Martin MYDLÁŘ, Ivan OHLÍDAL, Jan DVOŘÁK, Jiří VOHÁNKA, Daniel FRANTA a Pavel FRANTA

Vydání

2023

---

Další údaje

Jazyk

čeština

Typ výsledku

Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

obsah podléhá obchodnímu tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

e-gun evaporation with plasma assistence; dielectric coating; LIDT - Laser Induced Damage Threshold

Technické parametry

Laserově odolná antireflexní vrstva kombinující technologii HfO2/SiO2 deponovaných technologií elektronového napařování. Hranice odolnosti vrstev je vyšší než 0,65 J/cm2, ověřeno na pulzním laseru vlnové délky 343 nm, šířky pulzu 900 fs a opakovací frekvenci 1 000 Hz. Odolnost byla stanovena pro 100 000 pulzů.

---

Anotace

V originále

Laserově odolná antireflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 (v ArF grade kvalitě) s nanesenou vrstvou kombinující HfO2/SiO2 technologií napařování pomocí elektronového děla za asistenceplasmatu. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu > 0,65 J/cm2 pro pulsní laser λ = 343 nm, šířka pulsu 900 fs a opakovací frekvence 1 000 Hz, certifikováno ISO 21254-2.

Anglicky

Laser-resistant durable antireflective coating on witness glass Corning HPFS 7980 (in ArF grade quality) coated with layers combining HfO2/SiO2 evaporation technology using an electron gun with plasma assistance. The LIDT laser induced damage threshold was determined to be > 0.65 J/cm2 for a pulsed laser λ = 343 nm, pulse width 900 fs and repetition rate 1000 Hz, certified to ISO 21254-2.