2025
Ověřená technologie - prediktivní simulace AlCrN procesu
OBRUSNÍK, Adam; Kryštof MRÓZEK; Martin KUBEČKA; Petr ZIKÁN; Zdeněk BONAVENTURA et al.Základní údaje
Originální název
Ověřená technologie - prediktivní simulace AlCrN procesu
Název česky
Ověřená technologie - prediktivní simulace AlCrN procesu
Autoři
OBRUSNÍK, Adam; Kryštof MRÓZEK; Martin KUBEČKA; Petr ZIKÁN; Zdeněk BONAVENTURA; Jaroslav HNILICA a Peter KLEIN
Vydání
2025
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda, plemeno
Obor
20506 Coating and films
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/25:00144138
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
simulace; AlCrN proces
Klíčová slova anglicky
simulation; AlCrN process
Technické parametry
V rámci technologického postupu byl studován vliv tlaku, výkonu a magnetického pole.
Navržená technologie byla ověřena těmito depozičními podmínkami: stejnosměrné buzení za tlaku 0.3 Pa a výkonu od 5 do 25 kW.
Štítky
Změněno: 19. 5. 2025 11:18, doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
Anotace
V originále
The resulting technology validates the functionality of PlasmaSolve's computational framework for predictive simulation of plasma behavior and target erosion dynamics during the AlCrN deposition process as well as for predicting the degree of metal vapor ionization, which has a determining impact on the quality and conformity of the AlCrN coatings grown in the process.
Návaznosti
| FW03010533, projekt VaV |
|