2025
Dielektrický povlak s vysokou dielektrickou pevností
MAREK, Aleš; Jiří VYSKOČIL; Pavel MAREŠ; Petr VAŠINA; Richard Gaetan Paul DREVET et al.Základní údaje
Originální název
Dielektrický povlak s vysokou dielektrickou pevností
Název česky
Dielektrický povlak s vysokou dielektrickou pevností
Název anglicky
Dielectric coating with high dielectric strength
Autoři
MAREK, Aleš; Jiří VYSKOČIL; Pavel MAREŠ; Petr VAŠINA; Richard Gaetan Paul DREVET; Peter KLEIN; Stanislava DEBNÁROVÁ ORCID; Jiří SIKA a Miroslav KEPKA
Vydání
2025
Další údaje
Jazyk
čeština
Typ výsledku
Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Obor
20500 2.5 Materials engineering
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
sputtering; magnetron; dielectric coating; dielectric strength
Technické parametry
Materiál dielektrického povlaku: Al₂O₃;
Tloušťka povlaku 3,5 µm ;
Struktura amorfní, kompaktní bez sloupců ;
Optické vlastnosti n@550nm 1.67, k@550nm <0.0005 ;
Youngův modul pružnosti (EIT) 190 GPa;
Tvrdost (HIT) 11 GPa;
Depoziční rychlost povlakování 1.73 µm/hod ;
Teplota při depozici 230°C;
Bodová dielektrická pevnost 210 V / µm;
Plošná dielektrická pevnost /plošné průrazné napětí (naprašovaná NiCr elektroda o ploše 1 cm2 na povrchu dielektrické vrstvy): 203 V / µm pro povlak sestávající se ze tří dílčích vrstev od tloušťce 3,5um;
Adheze k ocelovému substrátu Lc2 = 11 N pro povlak o tloušťce 3,5 µm na HSS substrátu tvrdosti 61HRC;
Adheze k inconelovému substrátu Lc2 = 14,5 N pro povlak o tloušťce 11 µm;
Adheze k měděnému substrátu Lc2 = 7,6 N pro povlak o tloušťce 11 µm;
Mechanická odolnost Ano, >107 cyklů ±100MPa;
Tepelná odolnost Ano, v cyklech 400°C, v analýze 1000°C
Změněno: 4. 2. 2026 10:18, Mgr. Stanislava Debnárová, Ph.D.
V originále
V rámci řešení projektu TAČR TREND jsme vyvinuli funkční vzorek dielektrického povlaku Al₂O₃ připraveného reaktivním magnetronovým naprašováním. Povlak má optimalizovanou dielektrickou pevnost 200 V/µm v plošném průrazném testu, dobrou adhezi k průmyslově relevantnı́m substrátům, Youngův modul blı́zký základnı́mu materiálu (190 GPa) a vynikající stabilitu při mechanickém a teplotním namáhání. Povlak byl připraven při teplotě 230°C a s depoziční rychlostí relevantní pro průmyslové depoziční procesy
Anglicky
As part of the TAČR TREND project we have developed functional sample of dielectric Al₂O₃ coating coated in reactive magnetron deposition. The coating has optimized dielectric strength 200 V/µm in areal breakdown test, good adhesion to industrially relevant substrates, Young modulus close to base material (190 GPa) and excellent stability in mechanical and temperature load. The coating was coated at temperature 230°C with deposition rate relevant for industrial coating processes.
Návaznosti
| FW06010462, projekt VaV |
|