Characterization of CNx/SiOy Films Prepared by the Inductively Coupled RF Discharge

ELIÁŠ, Marek, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA. Characterization of CNx/SiOy Films Prepared by the Inductively Coupled RF Discharge. Czechoslovak Journal of Physics. Praha: Academy of Science of the Czech Republic, 2000, roč. 2000, 50(S3), s. 453-456. ISSN 0011-4626.

Základní údaje

• Originální název: Characterization of CNx/SiOy Films Prepared by the Inductively Coupled RF Discharge
• Autoři: ELIÁŠ, Marek (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika).
• Vydání: Czechoslovak Journal of Physics, Praha, Academy of Science of the Czech Republic, 2000, 0011-4626.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 0.298
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/00:00002460
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000173132300081
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

Characterization of CNx/SiOy thin films prepared in the inductively coupled radio-frequency discharge.

Návaznosti

• GV106/96/K245, projekt VaV: Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

• ME 301, projekt VaV: Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

• ME 367, projekt VaV: Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

• OC 527.20, projekt VaV: Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

• VS96084, projekt VaV: Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze