Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

ELIÁŠ, Marek, Vít KUDRLE, Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA. Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films. In Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases. 1999. vyd. Belgrad: Institute of Physics,, Univerzity of Belgrad, Yugoslavia, 2000, s. 441-444. ISBN 86-7306-043-5.

Základní údaje

• Originální název: Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films
• Autoři: ELIÁŠ, Marek (203 Česká republika), Vít KUDRLE (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika, garant).
• Vydání: 1999. vyd. Belgrad, Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases, s. 441-444, 2000.
• Nakladatel: Institute of Physics,, Univerzity of Belgrad, Yugoslavia

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Srbsko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/00:00002464
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 86-7306-043-5
• Příznaky: Mezinárodní význam

Anotace

Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

Anotace česky

Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films

Návaznosti

• GV106/96/K245, projekt VaV: Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

• ME 301, projekt VaV: Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

• ME 367, projekt VaV: Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

• OC 527.20, projekt VaV: Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

• VS96084, projekt VaV: Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze