Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Vladislav NAVRÁTIL, Jana PRYČKOVÁ, Deepak Prasad SUBEDI a Jan JANČA. Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition. In Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes. Bratislava (Slovakia): Dept. of Plasma Physics & Inst. of Physics, Comenius University Bratislava (Slovakia), 2001, s. 77-78. ISBN 80-223-1573-7.

Základní údaje

• Originální název: Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition
• Název česky: Modifikace tenkých DLC vrstev pomocí hexametyldisiloxanu
• Autoři: BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Vladislav NAVRÁTIL (203 Česká republika), Jana PRYČKOVÁ, Deepak Prasad SUBEDI (524 Nepál) a Jan JANČA (203 Česká republika).
• Vydání: Bratislava (Slovakia), Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, s. 77-78, 2001.
• Nakladatel: Dept. of Plasma Physics & Inst. of Physics, Comenius University Bratislava (Slovakia)

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Slovensko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/01:00002843
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 80-223-1573-7
• Klíčová slova anglicky: Plasma Physics; Thin Solid Films
• Štítky: plasma physics, Thin solid films
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

The modification of some properties of diamond-like carbon thin films by addition of hexametyldisiloxan was studied.Especially mechanical properties (microhardness) were studied.

Anotace česky

V práci byly studovány vlastnosti diamantupodobných vrstev vv závislosti na množství hexametyldisiloxanu. zejména byly studovány mechanické vlastnosti vrstev (mikrotvrdost).

Návaznosti

• GV106/96/K245, projekt VaV: Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy

• ME 301, projekt VaV: Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev

• ME 367, projekt VaV: Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

• OC 527.20, projekt VaV: Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

• VS96084, projekt VaV: Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze