D 2000

Origin of the metastability of phosphorus or boron doped a-Si:H films

SŤAHEL, Pavel, Petr SLÁDEK, Pere ROCA I CABARROCAS a Jiří ŠŤASTNÝ

Základní údaje

Originální název

Origin of the metastability of phosphorus or boron doped a-Si:H films

Autoři

SŤAHEL, Pavel (203 Česká republika), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, garant), Pere ROCA I CABARROCAS (250 Francie) a Jiří ŠŤASTNÝ (203 Česká republika)

Vydání

první. Brno, Electronic Devices and Systems Y2K - Proceedings, s. 207-212, 2000

Nakladatel

ing. Zdeněk Novotný, CSc.

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14410/00:00005993

Organizační jednotka

Pedagogická fakulta

ISBN

80-214-1780-3

Klíčová slova anglicky

amorphous silicon; doping; metastability
Změněno: 20. 5. 2003 17:08, doc. RNDr. Petr Sládek, CSc.

Anotace

V originále

The effects of light-soaking on either phosphorus- or boron-doped a-Si:H films were studied as functions of the doping level and the temperature. The phosphorus-doped films present a remarkable stability although lightly phosphorus-doped ones show a decrease of their conductivity by five orders of magnitude when light-soaking is performed below 40 C. This effect is attributed to the formation of P-H complexes which are stable at low temperature only. Our results suggest that in both types of doped a-Si:H films the interaction of dopants with hydrogen plays an important role.

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek