OPTICAL-SPECTRA OF SIXGE1-X ALLOYS

HUMLÍČEK, Josef. OPTICAL-SPECTRA OF SIXGE1-X ALLOYS. J. Appl. Phys. USA: American Institute of Physics, 1989, roč. 65, č. 7, s. 2827-2832. ISSN 0021-8979.

Základní údaje

Originální název

OPTICAL-SPECTRA OF SIXGE1-X ALLOYS

Autoři

HUMLÍČEK, Josef

Vydání

J. Appl. Phys. USA, American Institute of Physics, 1989, 0021-8979

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

---

Anotace

V originále

We report pseudodielectric functions of SiGe alloys at room temperature, measured ellipsometrically on polycrystalline samples and single-crystal epitaxial layers, in the 1.8-5,6 eV range. Accurate values of the E1 threshold energies are obtained from numerically differentiated spectra. The measured dependence of E1 on x provides an efficient way to determine the alloy composition x. The spectral and compositional dependence of the optical constants forms a data base for optical studies of Si/SiGe layerede structures.