2001
Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly
OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA a Petr KLAPETEKZákladní údaje
Originální název
Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly
Název anglicky
Measurement of Basic Statistical Quantities of Statistical Roughness by Atomic Force Microscopy
Autoři
OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA a Petr KLAPETEK
Vydání
Československý časopis pro fyziku, Praha, Fyzikální ústav AV ČR, 2001, 0009-0700
Další údaje
Jazyk
čeština
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/01:00004318
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Změněno: 25. 12. 2003 00:24, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
V tomto článku je podán přehled statistických veličin charakterizujících náhodně drsné povrchy, které jsou významné z hlediska praxe. Dále jsou popsány způsoby měření těchto veličin pomocí mikroskopie atomové síly. Tyto způsoby jsou ilustrovány prostřednictvím výsledků dosažených na náhodně drsných površích monokrystalu křemíku. Je také provedena diskuse chyb, které mohou ovlivnit hodnoty statistických veličin určených pomocí mikroskopie atomové síly. Výsledky dosažené u náhodně drsných povrchů křemíku užitím této techniky jsou srovnány s výsledky dosaženými pomocí optické metody.
Anglicky
In this paper a rewiev of the statistical quantities of randomly rough surfaces important from the practical point of view is presented. Further, procedures of measuring these quantities using atomic force microscopy (AFM) are described. The procedures are illustrated by means of the results achieved for randomly rough surfaces of silicon single crystal. A discussion of the errors having an influence on the values of the statistical quantities measured using AFM is presented as well. The results obtained for the rough silicon single crystal surfaces using AFM are compared with those achieved for these surfaces by optical methods.
Návaznosti
| GA202/98/0988, projekt VaV |
|