Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly

OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA a Petr KLAPETEK. Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly. Československý časopis pro fyziku. Praha: Fyzikální ústav AV ČR, 2001, roč. 51, č. 1, s. 16-21. ISSN 0009-0700.

Základní údaje

• Originální název: Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly
• Název anglicky: Measurement of Basic Statistical Quantities of Statistical Roughness by Atomic Force Microscopy
• Autoři: OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), Daniel FRANTA (203 Česká republika) a Petr KLAPETEK (203 Česká republika).
• Vydání: Československý časopis pro fyziku, Praha, Fyzikální ústav AV ČR, 2001, 0009-0700.

Další údaje

• Originální jazyk: čeština
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/01:00004318
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta

Anotace

V tomto článku je podán přehled statistických veličin charakterizujících náhodně drsné povrchy, které jsou významné z hlediska praxe. Dále jsou popsány způsoby měření těchto veličin pomocí mikroskopie atomové síly. Tyto způsoby jsou ilustrovány prostřednictvím výsledků dosažených na náhodně drsných površích monokrystalu křemíku. Je také provedena diskuse chyb, které mohou ovlivnit hodnoty statistických veličin určených pomocí mikroskopie atomové síly. Výsledky dosažené u náhodně drsných povrchů křemíku užitím této techniky jsou srovnány s výsledky dosaženými pomocí optické metody.

Anotace anglicky

In this paper a rewiev of the statistical quantities of randomly rough surfaces important from the practical point of view is presented. Further, procedures of measuring these quantities using atomic force microscopy (AFM) are described. The procedures are illustrated by means of the results achieved for randomly rough surfaces of silicon single crystal. A discussion of the errors having an influence on the values of the statistical quantities measured using AFM is presented as well. The results obtained for the rough silicon single crystal surfaces using AFM are compared with those achieved for these surfaces by optical methods.

Návaznosti

• GA202/98/0988, projekt VaV: Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod

Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod