D 2001

Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD

BRZOBOHATÝ, Oto, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Vilma BURŠÍKOVÁ

Základní údaje

Originální název

Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD

Název česky

Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD

Autoři

BRZOBOHATÝ, Oto (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, garant) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Brno, JUNIORMAT 01, s. 144-145, 2001

Nakladatel

ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00004507

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-214-1885-0

Klíčová slova anglicky

Diamond-like carbon; PECVD; Ellipsometry

Štítky

Změněno: 8. 2. 2008 20:06, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.

Česky

Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV
Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
ME 301, projekt VaV
Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek