D 2001

Stanovení povrchové energie tenkých vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje

PRYČKOVÁ, Jana, Deepak Prasad SUBEDI, Vilma BURŠÍKOVÁ, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Oto BRZOBOHATÝ et. al.

Základní údaje

Originální název

Stanovení povrchové energie tenkých vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje

Název anglicky

Determination of Surface Energy of Plasma Deposited Thin Films

Autoři

PRYČKOVÁ, Jana, Deepak Prasad SUBEDI (524 Nepál), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika) a Oto BRZOBOHATÝ (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Brno, JUNIORMAT 01, s. 230-231, 2001

Nakladatel

ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie

Další údaje

Jazyk

čeština

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00004508

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-214-1885-0

Klíčová slova anglicky

Contact angle measurement; surface energy; microhardness; PECVD; Diamond-like carbon

Štítky

Změněno: 8. 2. 2008 20:07, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Anotace

ORIG EN

V originále

Plazmochemickou depozicí jsme připravili amorfní diamantu podobné ochranné vrstvy ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu. Na základě měření kontaktního úhlu jsme učili volnou povrchovou energii připravených vrstev. Kontaktní úhel byl stanoven metodou založenou na CCD kamerou nasnímaném profilu kapky a metodou využívající difrakce laserového paprsku v bodě styku kapaliny s pevným povrchem. Ukázali jsme, že přidáním HMDSO do smesi pro plazmovou depozici lze modifikovat volnou povrchovou energii a mechanické vlastnosti vrstev.

Anglicky

The aim of the present work is to characterise plasma deposited silicon containing diamond-ĺike films (DLC) by two experimental methods: by means of the commercial device equipped with CCD camera and by the method using a laser beam for the contact angle measurement. We found out, that addition of hexamethyldisiloxane into the gas mixture for DLC film deposition gives the possibility to modify the the wetting, sticking and mechanical properties of DLC films.

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV
Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV
Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů