Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy

SUBEDI, Deepak Prasad; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA. Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy. In WDS'01 Proceedings of Contributed Papers. 1. vyd. Praha: matfyzpress, 2001, s. 400-405. ISBN 80-85863-73-1.

Základní údaje

Originální název

Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy

Autoři

SUBEDI, Deepak Prasad; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ a Jan JANČA

Vydání

1. vyd. Praha, WDS'01 Proceedings of Contributed Papers, s. 400-405, 2001

Nakladatel

matfyzpress

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00004542

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-85863-73-1

Klíčová slova anglicky

rf plasma; emission sectroscopy; rotational temperature; actinometry

Štítky

actinometry, emission sectroscopy, RF plasma, rotational temperature

Příznaky

Recenzováno

---

Anotace

V originále

Low pressure radio-frequency plasma produced in a capacitively coupled planar reactor has been studied by optical emission spectroscopy. Rotational temperature of oxygen molecule has been estimated at pressure 37 Pa and rf power 100-450 W. Concentration of atomic oxygen atom was monitored by actinometry.

---

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV	Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV	Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů