Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process
| KUDRLE, Vít, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Antonín BRABLEC. Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process. Pragolab, 2001. Spektrometry a vláknová optika. |
|
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
| Základní údaje | |
|---|---|
| Originální název | Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process |
| Autoři | KUDRLE, Vít, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Antonín BRABLEC. |
| Vydání | Spektrometry a vláknová optika, 2001. |
| Nakladatel | Pragolab |
| Další údaje | |
|---|---|
| Originální jazyk | angličtina |
| Typ výsledku | Audiovizuální tvorba |
| Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
| Stát vydavatele | Česká republika |
| Utajení | obsah podléhá obchodnímu tajemství |
| Kód RIV | RIV/00216224:14330/01:00005270 |
| Organizační jednotka | Fakulta informatiky |
| Změnil | Změnil: RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc., učo 1084. Změněno: 23. 5. 2002 15:41. |
| Anotace |
|---|
| Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process |
| Návaznosti | |
|---|---|
| GP202/01/P106, projekt VaV | Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie |
| Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie | |
| ME 301, projekt VaV | Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev | |
| ME 367, projekt VaV | Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů | |
| MSM 143100003, záměr | Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
| OC 527.20, projekt VaV | Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů | |
VytisknoutZobrazeno: 26. 4. 2024 02:54