A 2001

Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

KUDRLE, Vít; Lenka ZAJÍČKOVÁ a Antonín BRABLEC

Základní údaje

Originální název

Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

Autoři

KUDRLE, Vít; Lenka ZAJÍČKOVÁ a Antonín BRABLEC

Vydání

Spektrometry a vláknová optika, 2001

Nakladatel

Pragolab

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Audiovizuální tvorba

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

obsah podléhá obchodnímu tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14330/01:00005270

Organizační jednotka

Fakulta informatiky
Změněno: 23. 5. 2002 15:41, RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc.

Anotace

V originále

Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

Návaznosti

GP202/01/P106, projekt VaV
Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
ME 301, projekt VaV
Název: Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
ME 367, projekt VaV
Název: Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV
Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů