J 2002

Optical characterization of diamond like carbon films using multi-sample modification of variable angle spectroscopic ellipsometry

FRANTA, Daniel, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Ivan OHLÍDAL, Jan JANČA, Kateřina VELTRUSKÁ et. al.

Základní údaje

Originální název

Optical characterization of diamond like carbon films using multi-sample modification of variable angle spectroscopic ellipsometry

Autoři

FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika), Jan JANČA (203 Česká republika) a Kateřina VELTRUSKÁ (203 Česká republika)

Vydání

Diamond and Related Materials, Amsterdam, Elsevier, 2002, 0925-9635

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 1.734

Kód RIV

RIV/00216224:14310/02:00005469

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

DLC films; Ellipsometry; Optical properties; Amorphous materials

Štítky

Změněno: 25. 12. 2003 01:10, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

V originále

In the first part, thicknesses and spectral dependences of the optical constants of the diamond like carbon (DLC) films were determined without any parameterization in the range 240-830 nm by multi-sample modification of variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE). DLC films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) onto silicon single crystal substrates. It was shown that the influence of some defects of the DLC films on the optical constants is suppressed by applying the method of multi-sample modification of VASE. In the second part, the spectral dependences of the determined optical constants were interpreted using a recently developed model of dispersion based on the modified Lorentz oscillator. Two modified Lorentz oscillators corresponding to both pi-pi* and sigma-sigma* interband transitions were taken into account. Within this model of dispersion of the optical constants the concept of the band gap and the existence of localized energy states within the band gap were taken into account as well.

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV
Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
GA202/01/1110, projekt VaV
Název: Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
Investor: Grantová agentura ČR, Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek